Επεξεργασία επιφάνειας για ηλεκτροστατικό τσοκ υψηλής ποιότητας

Οηλεκτροστατικό τσοκαναλαμβάνει πολλαπλές λειτουργίες όπως ομοιόμορφη ηλεκτροστατική εκφόρτιση, αγωγιμότητα θερμότητας και προσρόφηση και στερέωση πλακιδίων στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών. Μία από τις βασικές λειτουργίες του ESC είναι η σταθερή απορρόφηση γκοφρετών υπό ακραίες συνθήκες λειτουργίας, όπως υψηλό κενό, ισχυρό πλάσμα και μεγάλο εύρος θερμοκρασίας.

Αυτό που πραγματικά καθορίζει την απόδοσή τους δεν είναι η εξωτερική δομή ή η φόρμουλα του βασικού υλικού, αλλά η διαδικασία επιφανειακής επεξεργασίας. Χωρίς επαγγελματική επεξεργασία επιφάνειας, θα παρουσιαστούν τα ακόλουθα προβλήματα κατά τη λειτουργία:

1. Διάβρωση πλάσματος και μόλυνση με μεταλλικά ιόντα

Οι απροστάτευτες κεραμικές επιφάνειες είναι ευάλωτες στη διάβρωση του πλάσματος κατά τη χάραξη ή τις ρυθμίσεις διεργασίας CVD. Αυτός ο τύπος διάβρωσης μπορεί να οδηγήσει άμεσα στην απελευθέρωση μεταλλικών ιόντων ή στην απόρριψη κεραμικών σωματιδίων, μολύνοντας έτσι τη γκοφρέτα.

2. Ανομοιόμορφη θερμική αγωγιμότητα και παραμόρφωση παραμόρφωσης

Οι τραχιές επιφάνειες ή η κακή επεξεργασία έχουν ως αποτέλεσμα την ανομοιόμορφη επαφή μεταξύ της γκοφρέτας και τηςESC, εμποδίζοντας την αγωγιμότητα της θερμότητας και επηρεάζοντας την ομοιομορφία του CD.

3. Ασταθής ηλεκτροστατική προσρόφηση

Ο ανακριβής έλεγχος της απόδοσης μόνωσης της επιφάνειας ή της αγωγιμότητας του ηλεκτροστατικού τσοκ μπορεί εύκολα να οδηγήσει σε ανεπαρκή δύναμη προσρόφησης ή υπερβολική προσρόφηση, επηρεάζοντας τελικά άμεσα την απόδοση της επεξεργασίας πλακιδίων.

Η επιφάνεια των ESC προηγμένης τεχνολογίας υιοθετεί συχνά έναν σύνθετο σχεδιασμό δομής πολλαπλών στρωμάτων, ρυθμίζοντας με ακρίβεια τις λειτουργικές περιοχές μέσω επιστρώσεων για την επίτευξη πραγματικής ολοκλήρωσης υψηλής απόδοσης.

Οι κοινές τεχνολογίες επιφανειακής επεξεργασίας των ESC υψηλής τεχνολογίας:

1.Φθοριοπολυμερή μη κολλητικές επικαλύψεις (όπως PTFE και PFA)

Αυτό το είδος επίστρωσης είναι ιδιαίτερα κατάλληλο για περιβάλλοντα διεργασιών χαμηλής θερμοκρασίας λόγω της χαμηλής ενέργειας ελεύθερης επιφάνειας, η οποία αποτρέπει αποτελεσματικά την προσρόφηση υπολειμμάτων φωτοανθεκτικών.

2. Επιστρώσεις άνθρακα τύπου διαμαντιού (DLC).

Με υψηλή σκληρότητα, αντοχή στο πλάσμα και χαμηλό συντελεστή τριβής, είναι κατάλληλα για εφαρμογές κατά της διάβρωσης και κατά της αποκόλλησης σωματιδίων σε εξοπλισμό χάραξης.

3. Αγώγιμα κεραμικά φιλμ PVD (όπως CrSiN και TiN)

Αυτός ο τύπος επίστρωσης μπορεί να κατασκευάσει μια σταθερή αγώγιμη διαδρομή σε μια συγκεκριμένη περιοχή και έτσι να αποφύγει αποτελεσματικά το πρόβλημα της τοπικής συσσώρευσης φορτίου ελέγχοντας με ακρίβεια την ομοιόμορφη εκφόρτιση των επιφανειακών φορτίων.

4. Σύνθετες θερμοαγώγιμες επικαλύψεις (όπως σκόνη διαμαντιού και υβριδική επίστρωση φθοριοπολυμερούς)

Αυτό το είδος επίστρωσης συνδυάζει μη συγκολλητικές ιδιότητες με θερμική αγωγιμότητα και η συνολική απόδοσή της μπορεί να ταιριάξει με ακρίβεια τις απαιτήσεις εφαρμογής του θερμικού ελέγχου υψηλής ακρίβειας ESC.