Σημαντικά κεραμικά εξαρτήματα στην κατασκευή ημιαγωγών

Ο εξοπλισμός ημιαγωγών αποτελείται από θαλάμους και θαλάμους και τα περισσότερα κεραμικά χρησιμοποιούνται σε θαλάμους πιο κοντά στις πλακίδια. Τα κεραμικά μέρη, τα σημαντικά συστατικά που χρησιμοποιούνται ευρέως στις κοιλότητες του εξοπλισμού πυρήνα, τα εξαρτήματα εξοπλισμού ημιαγωγών που κατασκευάζονται μέσω επεξεργασίας ακριβείας χρησιμοποιώντας προηγμένα κεραμικά υλικά όπως κεραμικά αλουμίνας, κεραμικά νιτριδίου αλουμινίου και κεραμικά καρβιδίου πυριτίου. Τα προηγμένα κεραμικά υλικά έχουν εξαιρετική απόδοση σε αντοχή, ακρίβεια, ηλεκτρικές ιδιότητες και αντίσταση στη διάβρωση και μπορούν να ανταποκριθούν στις πολύπλοκες απαιτήσεις απόδοσης της κατασκευής ημιαγωγών σε ειδικά περιβάλλοντα όπως κενό και υψηλή θερμοκρασία. Τα προηγμένα στοιχεία κεραμικού υλικού του εξοπλισμού ημιαγωγών χρησιμοποιούνται κυρίως στους θαλάμους και μερικά από αυτά βρίσκονται σε άμεση επαφή με το δίσκο. Πρόκειται για βασικά εξαρτήματα ακρίβειας στην ενσωματωμένη παραγωγή κυκλώματος και μπορούν να χωριστούν σε πέντε κατηγορίες: δακτυλιοειδείς κυλίνδρους, οδηγούς ροής αέρα, φορτίες και σταθερούς τύπους, παρεμβύσματα λαβής και μονάδες. Αυτό το άρθρο μιλά κυρίως για την πρώτη κατηγορία: δακτυλιοειδείς κυλίνδρους.

Δαχτυλίδια και κυλίνδρους

1 Δαχτυλίδια Moiré: Χρησιμοποιείται κυρίως στον εξοπλισμό εναπόθεσης λεπτών μεμβρανών. Βρίσκεται μέσα στο θάλαμο επεξεργασίας, έρχονται σε άμεση επαφή με το δίσκο, ενισχύοντας την καθοδήγηση του φυσικού αερίου, τη μόνωση και την αντίσταση στη διάβρωση.

2. Δαχτυλίδια φρουράς: Κυρίως χρησιμοποιούνται στον εξοπλισμό εναπόθεσης λεπτών μεμβρανών και στο Etcher. Βρίσκεται μέσα στο θάλαμο διεργασίας, προστατεύουν τα βασικά εξαρτήματα μονάδας, όπως ο ηλεκτροστατικός τσοκ και ο κεραμικός θερμαντήρας.

3. Δαχτυλίδια άκρων: Κυρίως χρησιμοποιούνται στον εξοπλισμό εναπόθεσης λεπτών μεμβρανών και στο Etcher. Βρίσκεται μέσα στο θάλαμο επεξεργασίας, σταθεροποιούν και εμποδίζουν τη διαφυγή του πλάσματος.

4. Δαχτυλίδια εστίασης: Χρησιμοποιείται κυρίως σε εξοπλισμό από εναπόθεση λεπτού φιλμ, εξοπλισμό εμφύτευσης ιόντων και ιόντων. Βρίσκεται μέσα στο θάλαμο επεξεργασίας, είναι λιγότερο από 20mm από το δίσκο, εστιάζοντας το πλάσμα μέσα στο θάλαμο.

5. Προστατευτικά καλύμματα: Χρησιμοποιείται κυρίως στον εξοπλισμό εναπόθεσης λεπτών μεμβρανών και στο Etcher. Βρίσκεται μέσα στο θάλαμο επεξεργασίας, σφραγίζουν και απορροφούν υπολείμματα διεργασίας.

6. Δαχτυλίδια γείωσης: Χρησιμοποιείται κυρίως στον εξοπλισμό εναπόθεσης λεπτών μεμβρανών και στο Etcher. Βρίσκεται έξω από το θάλαμο, εξασφαλίζουν και υποστηρίζουν εξαρτήματα.

7. Λειτουργία: Χρησιμοποιείται κυρίως σε Etchers, που βρίσκεται μέσα στο θάλαμο διεργασίας, ενισχύει την καθοδήγηση του φυσικού αερίου και εξασφαλίζει πιο ομοιόμορφο σχηματισμό φιλμ.

8. Κύλινδρος μόνωσης: Χρησιμοποιείται κυρίως σε εξοπλισμό εναπόθεσης λεπτού φιλμ, χαράκτη και εκβιασμούς ιόντων, βρίσκεται μέσα στο θάλαμο διεργασίας και βελτιώνει την απόδοση ελέγχου της θερμοκρασίας του εξοπλισμού.

9. Σωλήνας προστασίας θερμοστοιχείων: Χρησιμοποιείται κυρίως σε διάφορους εξοπλισμούς μπροστινού μέσου ημιαγωγού, βρίσκεται έξω από το θάλαμο και προστατεύει τα θερμοστοιχεία σε σχετικά σταθερή θερμοκρασία και χημικό περιβάλλον.

Το Semicorex προσφέρει υψηλής ποιότηταςκεραμικά προϊόντασε ημιαγωγό. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε επιπλέον λεπτομέρειες, μην διστάσετε να έρθετε σε επαφή μαζί μας.

Επικοινωνήστε με το τηλέφωνο # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com