Αγώγιμες επικαλυμμένες με γραφίτες θερμαντήρες

Οαγώγιμο επικαλυμμένο με γραφίτη θερμαντήραείναι ένα νέο προϊόν σχεδιασμένο για επεξεργασία ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας και άλλα θερμικά συστήματα κενού. Χρησιμοποιεί την καλή θερμική σταθερότητα του γραφίτη υψηλής καθαρότητας και τα εξαιρετικά επιφανειακά χαρακτηριστικά μιας επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου (SIC). Ο αγώγιμος θερμαντήρας γραφίτη διαφοροποιείται περαιτέρω από το στρώμα SIC του αζώτου που προσφέρει πολύ βελτιωμένη αγωγιμότητα επιφάνειας, καθιστώντας την ιδιαίτερα κατάλληλη για εφαρμογές που χρειάζονται ελεγχόμενη και ακόμη και θέρμανση με εξαιρετική ηλεκτρική απόδοση.

Ο θερμαντήρας είναι κατασκευασμένος με υπόστρωμα γραφίτη υψηλής αντοχής, το οποίο δρα ως βασικός δομικός και θερμικός αγωγός. Ο γραφίτης επιλέχθηκε, συγκεκριμένα με τα υψηλά επίπεδα θερμικής αγωγιμότητας, τον χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και την ανθεκτικότητα σε θερμικό σοκ. Αυτά τα χαρακτηριστικά καθιστούν τον γραφίτη ένα κατάλληλο υλικό βάσης σε εφαρμογές διαδικασίας υψηλής θερμοκρασίας όπου μπορεί να υπάρχουν ταχεία κύκλοι θέρμανσης και ψύξης. Ωστόσο, ο ίδιος ο παρθένος γραφίτης είναι χημικά αντιδραστικός σε ορισμένες ατμόσφαιρες και μπορεί να παρουσιάσει βλάβη επιφανείας ή υποβάθμιση, εκπομπή σωματιδίων ή μεταφορά κατά τη διάρκεια της εκτεταμένης χρήσης, ειδικά σε περιβάλλοντα καθαρισμού ημιαγωγών.

Για να ξεπεραστούν αυτοί οι περιορισμοί, το τμήμα γραφίτη είναι επικαλυμμένο με ένα παχύ στρώμα SIC υψηλής καθαρότητας. Η επίστρωση SIC εξυπηρετεί πολλαπλές λειτουργίες: παρέχει ένα επίπεδο προστασίας από την οξείδωση και τη χημική διάβρωση, παρέχει μια πολύ σκληρή επιφάνεια ανθεκτικής στη φθορά και εξασφαλίζει τη συμβατότητα με τα πρότυπα κενού και καθαρού χώρου. Η SIC έχει φήμη για ακραία σκληρότητα, υψηλή θερμική αγωγιμότητα και χημική αδράνεια. Για το λόγο αυτό είναι ένα εξαιρετικό υλικό επικάλυψης για θερμικά εξαρτήματα υψηλής απόδοσης.

Η μοναδική καινοτομία αυτού του προϊόντος είναι η ντόπινγκ αζώτου της επίστρωσης SIC. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), τα άτομα αζώτου ενσωματώνονται στο πλέγμα SIC, παράγοντας ελεύθερους φορείς, γεγονός που μπορεί να μειώσει δραματικά την επιφανειακή του αντίσταση και επομένως να δημιουργήσει ένα αγώγιμο επιφανειακό στρώμα και να επιτρέψει την απευθείας από το ρεύμα, αντί να χρησιμοποιήσει ένα σημείο πρόσβασης μέσω της επικάλυψης SIC, επιτρέποντας έτσι ολόκληρο το συστατικό γραφίτη για να ενεργεί ως αντιστάθμιση της θερμότητας.

ΚλασσικόςΕπιχρίσματαείναι μονωτικοί, πράγμα που τους περιορίζει πραγματικά στο πεδίο των ενεργών ηλεκτρικών εφαρμογών. Αντιστρόφως, το στρώμα SIC που έχει προσβληθεί από το άζωτο στον θερμαντήρα έχει εξαιρετικά χαμηλή αντοχή στην επιφάνεια ενώ εξακολουθεί να διατηρεί όλα τα μηχανικά και χημικά οφέλη του κλασικού SIC. Το αγώγιμο στρώμα παρέχει πολύ καλή ομοιομορφία ρεύματος και ελαχιστοποιεί την απώλεια ισχύος, βελτιώνοντας ταυτόχρονα τη θερμική κατανομή στην επιφάνεια του θερμαντήρα. Είναι ιδιαίτερα ιδανικό για εφαρμογές θέρμανσης ακριβείας υπό συνθήκες που συχνά σχετίζονται με επιταξιακούς αντιδραστήρες, καύσους διάχυσης και εξοπλισμό ταχείας θερμικής επεξεργασίας (RTP).

Η γεωμετρία του θερμαντήρα, συνήθως σπειροειδής ή σερπεντίνη όπως φαίνεται στην εικόνα, έχει σχεδιαστεί και βελτιστοποιηθεί με σκοπό την παραγωγή ομοιόμορφης ενέργειας θερμικής εξόδου και ομοιόμορφης ηλεκτρικής φόρτωσης. Με τον ολοκληρωμένο σχεδιασμό του γραφίτη και την αγώγιμη επίστρωση SIC, οι ηλεκτρικές επαφές μπορούν να γίνουν απευθείας στην επικαλυμμένη επιφάνεια που εξαλείφει την ανάγκη για τυχόν πρόσθετα ηλεκτρόδια ή μεταλλική σύνδεση. Αυτό μειώνει τους κινδύνους μόλυνσης και οδηγεί σε μια απλούστερη συναρμολόγηση. Κατά συνέπεια, η συνολική απόδοση βελτιώνεται.

Βασικά οφέλη του αγώγιμουΘερμαντήρας γραφίτη επικαλυμμένου με SICσυμπεριλαμβάνω:

Εξαιρετική ηλεκτρική αγωγιμότητα λόγω ντόπινγκ αζώτου, επιτρέποντας την άμεση ροή ρεύματος και την αποτελεσματική θέρμανση της αντίστασης.

Ανώτερη θερμική ομοιομορφία με ακριβή έλεγχο θερμοκρασίας σε ολόκληρη την επιφάνεια.

Υψηλή χημική αντίσταση, ιδιαίτερα σε διαβρωτικά περιβάλλοντα όπως ατμόσφαιρα υδρογόνου, αμμωνίας ή αλογόνου.

Ελάχιστη παραγωγή σωματιδίων, ικανοποιώντας τις αυστηρές απαιτήσεις καθαρότητας της κατασκευής ημιαγωγών.

Η εκτεταμένη διάρκεια ζωής, λόγω της μηχανικής ανθεκτικότητας και της αντοχής σε θερμικό σοκ τόσο του πυρήνα γραφίτη όσο και της επικάλυψης SIC.

Οι αιτήσεις για αυτόν τον θερμαντήρα επεκτείνονται σε μια σειρά από προηγμένες βιομηχανίες τεχνολογίας. Ο θερμαντήρας θα βρει μια θέση σε διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών όπως η εναπόθεση χημικών ατμών (CVD), η επιταξία μοριακής δέσμης (MBE) και η ανόπτηση των δισκίων, όπου είναι κρίσιμοι ο έλεγχος της θερμοκρασίας και η καθαρότητα των υλικών. Ο θερμαντήρας γραφίτη με επικάλυψη SIC μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί στην φωτοβολταϊκή παραγωγή, την πυροσυσσωμάτωση των προχωρημένων κεραμικών και σε άλλες θερμικές διεργασίες όπου απαιτούνται υψηλότερες επιδόσεις, ανθεκτικότητα και ισχυροί θερμαντήρες.

Συνοπτικά, ο αγώγιμος θερμαντήρας γραφίτη με επικάλυψη SIC είναι μια εντυπωσιακή πρόοδος στην ανάπτυξη θερμικών εξαρτημάτων. Χρησιμοποιώντας μια επικάλυψη SIC με προστασία από άζωτο, έχουμε αναπτύξει ένα αποτελεσματικό θερμικό προϊόν, το οποίο συνδυάζει επιτυχώς τη χημική σταθερότητα της επικάλυψης SIC με ηλεκτρική αγωγιμότητα. Έτσι, παράγοντας μια θερμική διαδικασία που είναι πιο αποτελεσματική, καθαρότερη και πιο αξιόπιστη για τις πιο απαιτητικές βιομηχανικές εφαρμογές. Οι βιομηχανίες ημιαγωγών και υλικών αντιμετωπίζουν συνεχιζόμενες αλλαγές και τα υβριδικά υλικά αυτού του είδους θα γίνουν όλο και πιο σημαντικά για να επιτρέψουν στις μελλοντικές πιο προηγμένες τεχνολογίες για την κατασκευή.

Το Semicorex προσφέρει υψηλής ποιότηταςΘερμαντήρες γραφίτη με επικάλυψηπροϊόντα. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε επιπλέον λεπτομέρειες, μην διστάσετε να έρθετε σε επαφή μαζί μας.

Επικοινωνήστε με το τηλέφωνο # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com