2025-04-30
Αλουμίνα κεραμικόΤα εξαρτήματα έχουν εξαιρετικές ιδιότητες όπως η υψηλή σκληρότητα, η υψηλή μηχανική αντοχή, η αντοχή σε σούπερ φθοράς, η αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, η υψηλή αντίσταση και η καλή απόδοση της ηλεκτρικής μόνωσης. Μπορούν να πληρούν τις πολύπλοκες απαιτήσεις απόδοσης της κατασκευής ημιαγωγών σε ειδικά περιβάλλοντα όπως κενό και υψηλή θερμοκρασία. Παίζουν έναν αναντικατάστατο και σημαντικό ρόλο στις γραμμές παραγωγής ημιαγωγών. Οι εφαρμογές τους καλύπτουν σχεδόν όλο τον εξοπλισμό παραγωγής ημιαγωγών και αποτελούν βασικά στοιχεία του εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών. Με τη συνεχή ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών, η σημασία των κεραμικών συστατικών αλουμίνας στη βιομηχανική αλυσίδα θα γίνει πιο εμφανής.
Καθώς μειώνεται το μέγεθος χαρακτηριστικών του τσιπ, ο εξοπλισμός ημιαγωγών έχει αυστηρότερες απαιτήσεις στα εξαρτήματα και η πυκνότητα, η ομοιομορφία, η αντίσταση στη διάβρωση κ.λπ. πρέπει να είναι υψηλότερα. Τα τελευταία χρόνια, οι εγχώριοι και ξένοι μελετητές έχουν αναπτύξει μια ποικιλία νέων διαδικασιών για τη βελτίωση των συνθηκών πυροσυσσωμάτωσης των κεραμικών υλικών αλουμίνας, έτσι ώστε να μπορούν να επιτύχουν ταχεία πυκνοποίηση υλικών σε χαμηλότερες θερμοκρασίες πυροσυσσωμάτωσης, όπως η αυτο-προοπτική πυροσυσσωμάτω Μεταξύ αυτών, η ψυχρή πυροσυσσωμάτωση είναι να προστεθεί ένας μεταβατικός διαλύτης στη σκόνη και να ασκήσει μεγάλη πίεση (350 ~ 500MPa) για να ενισχύσει την αναδιάταξη και τη διάχυση μεταξύ των σωματιδίων, έτσι ώστε η κεραμική σκόνη να μπορεί να αποσυνδεθεί και να πυκνωθεί σε χαμηλότερη θερμοκρασία (120 ~ 300 ℃) και μικρότερο χρονικό διάστημα.
Επί του παρόντος, η παγκόσμια διαδικασία κατασκευής κυκλώματος έχει αναπτυχθεί σε μια πιο προηγμένη διαδικασία σε επίπεδο 3 νανομέτρων. Ο εξοπλισμός ημιαγωγών και τα εξαρτήματα ακριβείας του εξοπλισμού ημιαγωγών πρέπει να αναπτύσσονται και να αναβαθμίζονται συνεχώς και να βελτιώνεται η βελτίωση της διαδικασίας για την κάλυψη των αναγκών παραγωγής κατάντη. Μόλις ενημερωθεί ο εξοπλισμός ημιαγωγών, οι ειδικές απαιτήσεις του νέου εξοπλισμού για τα εξαρτήματα θα αλλάξουν συγχρόνως. Με την ανάπτυξη της τεχνολογίας ημιαγωγών, οι απαιτήσεις απόδοσης για τα κεραμικά συστατικά της αλουμίνας αυξάνονται και υψηλότερες, συμπεριλαμβανομένης της υψηλότερης αντοχής στη φθορά, της αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία και της καλύτερης ηλεκτρικής μόνωσης. Οι τάσεις της βιομηχανίας τείνουν να αναπτύσσουν υλικά υψηλότερης καθαρότητας, λεπτότερη δομή αλουμίνας και να υιοθετούν προηγμένες τεχνολογίες προετοιμασίας.
Αλουμίνα κεραμικάέχουν πολύ υψηλές απαιτήσεις καθαρότητας όταν χρησιμοποιούνται στο πεδίο ημιαγωγών, γενικά μεγαλύτερο από 99,5%. Στο πεδίο ημιαγωγών, τα κεραμικά μέρη αλουμίνας είναι ένα από τα βασικά μέρη του εξοπλισμού ημιαγωγών. Τα περισσότερα από αυτά χρησιμοποιούνται σε θαλάμους πιο κοντά στο δίσκο. Στον εξοπλισμό ημιαγωγών, ταξινομούνται με χρήση και διαιρούνται κυρίως σε δακτυλιοειδείς κυλίνδρους, οδηγούς ροής αέρα, φορτωμένες σταθερές, παρεμβύσματα, ενότητες, κ.λπ.
Στη διαδικασία χάραξης, προκειμένου να μειωθεί η μόλυνση του δίσκου κατά τη διάρκεια της χάραξης πλάσματος, οι επικαλύψεις αλουμίνας υψηλής καθαρότητας ή τα κεραμικά αλουμίνας με ισχυρή αντοχή στη διάβρωση επιλέγονται ως προστατευτικά υλικά για το θάλαμο χάραξης και την επένδυση του θαλάμου.
Στη διαδικασία καθαρισμού στο πλάσμα, χρησιμοποιούνται διαβρωτικά αέρια που περιέχουν εξαιρετικά αντιδραστικά στοιχεία αλογόνου όπως φθόριο και χλώριο. Το ακροφύσιο αερίου είναι συνήθως κατασκευασμένο από κεραμικά αλουμίνας, τα οποία πρέπει να έχουν υψηλή αντίσταση στο πλάσμα, διηλεκτρική αντοχή και ισχυρή αντοχή στη διάβρωση στα αέρια επεξεργασίας και τα υποπροϊόντα. Ταυτόχρονα, η δομή εσωτερικής οπής ακριβείας χρησιμοποιείται για τον ακριβή έλεγχο της ροής αερίου.
Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, το δίσκο μπορεί να υποβληθεί σε θεραπεία υψηλής θερμοκρασίας, όπως η χάραξη, η εμφύτευση ιόντων κ.λπ. Ως φορέας για τη μετάδοση του πλακιδίου, ο φορέας αλουμινίου μπορεί να εξασφαλίσει τη σταθερότητα και την ασφάλεια του δισκίου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας μετάδοσης. Ο φορέας πλακιδίων αλουμίνας έχει καλή θερμική αγωγιμότητα και μπορεί να διασκορπίσει και να εξάγει τη θερμότητα που παράγεται από το δίσκο, προστατεύοντας έτσι το δίσκο από θερμική βλάβη.
Στον χειρισμό των πλακών, θα χρησιμοποιηθεί ένα κεραμικό ρομποτικό βραχίονα από κεραμικά αλουμίνας. Θα εγκατασταθεί σε ένα ρομπότ χειρισμού πλακιδίων, το οποίο είναι ισοδύναμο με το χέρι του ρομπότ. Είναι υπεύθυνο για τη μεταφορά του δισκίου στην καθορισμένη τοποθεσία και η επιφάνεια του βρίσκεται σε άμεση επαφή με το δίσκο. Επειδή τα πλακίδια είναι εξαιρετικά ευαίσθητα στη μόλυνση από άλλα σωματίδια, γενικά πραγματοποιούνται σε περιβάλλον κενού. Σε αυτό το περιβάλλον, τα ρομποτικά όπλα των περισσότερων υλικών γενικά δυσκολεύονται να ολοκληρωθούν το έργο. Τα υλικά που χρησιμοποιούνται για να κάνουν τα ρομποτικά όπλα πρέπει να είναι ανθεκτικά σε υψηλές θερμοκρασίες, ανθεκτικά στη φθορά και να έχουν υψηλή σκληρότητα. Λόγω των απαιτήσεων των συνθηκών εργασίας, είναι γενικά κατασκευασμένες από εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας κεραμικά υλικά αλουμίνας και πρέπει να εγγυηθούν η ακρίβεια και η τραχύτητα των κεραμικών τμημάτων.
Το Semicorex προσφέρει υψηλής ποιότηταςΑλουμίνα κεραμικά μέρηστο ημιαγωγό, συμπεριλαμβανομένων των επικαλύψεων SIC και των επικαλύψεων TAC. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε επιπλέον λεπτομέρειες, μην διστάσετε να έρθετε σε επαφή μαζί μας.
Επικοινωνήστε με το τηλέφωνο # +86-13567891907
Email: sales@semicorex.com