Κεραμικές θερμαντήρες

Στη διαδικασία Front-end (FEOL) της παραγωγής ημιαγωγών, τοόστιαΠρέπει να υποβληθεί σε διάφορες θεραπείες διεργασιών, ειδικά το δίσκο πρέπει να θερμαίνεται σε μια ορισμένη θερμοκρασία και υπάρχουν αυστηρές απαιτήσεις, επειδή η ομοιομορφία της θερμοκρασίας έχει πολύ σημαντικό αντίκτυπο στην απόδοση του προϊόντος. Ταυτόχρονα, ο εξοπλισμός ημιαγωγών πρέπει να λειτουργεί παρουσία κενού, πλάσματος και χημικών αερίων, που απαιτεί τη χρήση κεραμικών θερμαντήρων.Κεραμικές θερμαντήρεςείναι σημαντικά συστατικά του εξοπλισμού εναπόθεσης λεπτών μεμβρανών ημιαγωγών. Χρησιμοποιούνται στο θάλαμο επεξεργασίας και επικοινωνούν απευθείας με το δίσκο για να μεταφέρουν και να επιτρέψουν στο δίσκο για να αποκτήσουν μια σταθερή και ομοιόμορφη θερμοκρασία διεργασίας και να αντιδράσουν με υψηλή ακρίβεια στην επιφάνεια του δίσκου για να δημιουργήσουν λεπτές μεμβράνες.

Επειδή ο εξοπλισμός εναπόθεσης λεπτού φιλμ που χρησιμοποιείται από κεραμικούς θερμαντήρες περιλαμβάνει υψηλές θερμοκρασίες, χρησιμοποιούνται γενικά κεραμικά υλικά που βασίζονται κυρίως στο νιτρίδιο αλουμινίου (ALN). Επειδή το νιτρίδιο αλουμινίου έχει ηλεκτρική μόνωση και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα. Επιπλέον, ο συντελεστής θερμικής διαστολής είναι κοντά σε αυτόν του πυριτίου και έχει εξαιρετική αντίσταση στο πλάσμα, είναι πολύ κατάλληλο για χρήση ως εξοπλισμό εξοπλισμού ημιαγωγών.

Τα ηλεκτροστατικά τσοκ (ESCs) χρησιμοποιούνται κυρίως στον εξοπλισμό χάραξης, κυρίως οξείδιο του αργιλίου (AL2O3). Δεδομένου ότι ο ίδιος ο ηλεκτροστατικός τσοκ περιέχει επίσης έναν θερμαντήρα, λαμβάνοντας ξηρή χάραξη ως παράδειγμα, είναι απαραίτητο να ελέγχεται το δίσκο σε μια συγκεκριμένη θερμοκρασία στην περιοχή -70 ℃ ~ 100 ℃ για να διατηρηθεί ένα συγκεκριμένο χαρακτηριστικό χάραξης. Ως εκ τούτου, το δίσκο πρέπει να θερμαίνεται ή να διαλύεται από το ηλεκτροστατικό τσοκ για να ελέγξει με ακρίβεια τη θερμοκρασία του δίσκου. Επιπλέον, προκειμένου να εξασφαλιστεί η ομοιομορφία της επιφάνειας του δίσκου, το ηλεκτροστατικό τσοκ πρέπει συχνά να αυξήσει τη ζώνη ελέγχου της θερμοκρασίας για τον έλεγχο της θερμοκρασίας κάθε ζώνης ελέγχου θερμοκρασίας χωριστά για τη βελτίωση της απόδοσης της διαδικασίας. Φυσικά, με την ανάπτυξη της τεχνολογίας, η διάκριση μεταξύ παραδοσιακών κεραμικών θερμαντήρων και ηλεκτροστατικών τσοκ έχει αρχίσει να θολή. Ορισμένες κεραμικές θερμαντήρες έχουν τις διπλές λειτουργίες θέρμανσης υψηλής θερμοκρασίας και ηλεκτροστατικής προσρόφησης.

Ο κεραμικός θερμαντήρας περιλαμβάνει μια κεραμική βάση που μεταφέρει το δίσκο και ένα κυλινδρικό σώμα υποστήριξης που το υποστηρίζει στην πλάτη. Μέσα ή στην επιφάνεια της κεραμικής βάσης, εκτός από το στοιχείο αντίστασης (στρώμα θέρμανσης) για θέρμανση, υπάρχει επίσης ηλεκτρόδιο ραδιοσυχνότητας (στρώμα ραδιοσυχνότητας). Προκειμένου να επιτευχθεί ταχεία θέρμανση και ψύξη, το πάχος της κεραμικής βάσης θα πρέπει να είναι λεπτό, αλλά πολύ λεπτό θα μειώσει επίσης την ακαμψία. Το σώμα υποστήριξης του θερμαντήρα είναι γενικά κατασκευασμένο από υλικό με συντελεστή θερμικής διαστολής παρόμοιο με αυτόν της βάσης, έτσι ώστε το σώμα υποστήριξης να είναι συχνά κατασκευασμένο από νιτρίδιο αλουμινίου. Ο θερμαντήρας υιοθετεί μια μοναδική δομή μιας άρθρωσης άξονα (άξονα) στο κάτω μέρος, η οποία μπορεί να προστατεύσει τους ακροδέκτες και τα καλώδια από τις επιδράσεις του πλάσματος και των διαβρωτικών χημικών αερίων. Ο σωλήνας εισόδου αερίου θερμότητας και σωλήνας εξόδου παρέχεται στο σώμα υποστήριξης για να εξασφαλιστεί ομοιόμορφη θερμοκρασία του θερμαντήρα. Η βάση και το σώμα υποστήριξης συνδέονται χημικά με ένα στρώμα συγκόλλησης.

Το Semicorex προσφέρει υψηλής ποιότηταςκεραμικές θερμαντήρες. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε επιπλέον λεπτομέρειες, μην διστάσετε να έρθετε σε επαφή μαζί μας.

Επικοινωνήστε με το τηλέφωνο # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com