Κεραμικά μέρη ημιαγωγών

Τα κεραμικά μέρη ημιαγωγών ανήκουν στα προηγμένα κεραμικά και αποτελούν απαραίτητο μέρος της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών. Οι πρώτες ύλες για την παρασκευή είναι συνήθως υψηλής καθαρότητας, εξαιρετικά λεπτό ανόργανα υλικά, όπως οξείδιο του αργιλίου, καρβίδιο πυριτίου, νιτρίδιο αλουμινίου, νιτρίδιο πυριτίου, οξείδιο του υττρίου, οξείδιο ζιρκονίου κ.λπ.

Οξείδιο αργιλίου

Χρησιμοποιείται ευρέως και η απόδοση του προϊόντος ποικίλλει ανάλογα με την καθαρότητα. Η καθαρότητα 95% είναι ανοιχτό κίτρινο και η καθαρότητα 99% είναι χιονιού. Έχει εξαιρετική ακαμψία, δύναμη, αντοχή στη φθορά, αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και αντοχή στη διάβρωση και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την προετοιμασία των περισσότερων κεραμικών εξαρτημάτων ημιαγωγών, όπως κεραμικά ακροφύσια, κεραμικά όπλα κλπ.

Καρβίδιο πυριτίου

Είναι μαύρο, έχει υψηλή θερμική αγωγιμότητα, υψηλή αντοχή και σκληρότητα, ελαφρύ βάρος, καλή αντίσταση σοκ και χρησιμοποιείται συχνά για την παρασκευή βραχιόνων κενού και φλιτζάνια αναρρόφησης κενού.

Νιτριδικό αργίλιο

Έχει υψηλή θερμική αγωγιμότητα, συντελεστή θερμικής διαστολής που ταιριάζει με πυρίτιο, χαμηλή διηλεκτρική σταθερά και διηλεκτρική απώλεια και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να κατασκευαστεί υποστρώματα διάχυσης θερμότητας, κεραμικά ακροφύσια κ.λπ.

Νιτρίδιο πυριτίου

Το υψηλό σημείο τήξης, η εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα, η υψηλή χημική αδράνεια, ο χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής, η υψηλή θερμική αγωγιμότητα, η καλή αντοχή σε θερμικό σοκ, η αντοχή σε υψηλή πρόσκρουση και η αντοχή κάτω από 1200 ℃, που χρησιμοποιούνται συχνά για την κατασκευή κεραμικών υποστρωμάτων, κεραμικών σωλήνων κλπ.

Οξείδιο Yttrium

Υψηλό σημείο τήξης, καλή χημική και φωτοχημική σταθερότητα, υψηλή θερμική αγωγιμότητα, καλή μεταφορά φωτός, συχνά σε συνδυασμό με αλουμίνα για την παραγωγή κεραμικών παραθύρων.

Οξείδιο ζιρκονίου

Υψηλή μηχανική αντοχή, αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντίσταση οξέος και αλκαλίων, καλή μόνωση, σύμφωνα με διαφορετικό περιεχόμενο μπορεί να γίνει κεραμικά προϊόντα για διαφορετικούς σκοπούς, όπως τα ενσωματωμένα υποστρώματα κυκλώματος κ.λπ.

Τύποι εξαρτημάτων:

Τα κεραμικά μέρη "all-rounder" με διαφορετικές λειτουργίες χρησιμοποιούνται ευρέως σε διάφορους τύπους εξοπλισμού κλειδιού ημιαγωγών, κυρίως συμπεριλαμβανομένων των εξής:

Κεραμικό βραχίονα ημιαγωγού

Διαδραματίζει ρόλο στον εξοπλισμό ημιαγωγών κατά τη μεταφορά πλακιδίων και πρέπει να εργαστεί σε ένα καθαρό περιβάλλον κενού. Συνήθως παρασκευάζεται με καρβίδιο υψηλής καθαρότητας ή καρβίδιο πυριτίου, η αλουμίνα είναι οικονομικά αποδοτική και χρησιμοποιείται περισσότερο.

Κεραμικό υπόστρωμα

Εφαρμόζονται σε διαφορετικά ηλεκτρονικά πεδία συσκευασίας, όπως ηλεκτρονικές συσκευές ισχύος, λέιζερ κ.λπ., και συχνά παρασκευάζονται με υλικά όπως νιτρικό αλουμίνα και πυρίτιο.

Κεραμικό ακροφύσιο

Στο HDP-CVD, η ποιότητά του επηρεάζει την καθαρότητα και τον ρυθμό ροής του αερίου αντίδρασης. Τα κεραμικά νιτριδίου αλουμινίου είναι πιο κατάλληλα για προχωρημένο εξοπλισμό διεργασιών λόγω της εξαιρετικής απόδοσής τους.

Κεραμικό παράθυρο

Πρόκειται για ένα βασικό συστατικό του Etcher του ημιαγωγού. Μπορεί να σφραγιστεί κενό χωρίς να επηρεάζεται η διείσδυση στο πλάσμα. Συνήθως είναι κατασκευασμένο από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας και οξείδιο Yttrium.

Κεραμικό κάλυμμα θαλάμου

Πρόκειται για ένα βασικό συστατικό του εξοπλισμού εναπόθεσης λεπτών μεμβρανών, το οποίο είναι ζωτικής σημασίας για να εξασφαλιστεί η ποιότητα του δίσκου και η σφράγιση του θαλάμου αντίδρασης.

Κεραμικό τσουκάρισμα κενού

Χρησιμοποιείται για τη θέση και τη σύσφιξη του δισκίου πυριτίου. Είναι ένα πορώδες κεραμικό από δύο κεραμικά υλικά.

Διαδικασία προετοιμασίας:

Η διαδικασία παρασκευής των κεραμικών εξαρτημάτων "χειροτεχνίας" είναι περίπλοκη, συμπεριλαμβανομένων κυρίως των ακόλουθων βημάτων:

Προετοιμασία σκόνης

Οι πρώτες ύλες πρέπει να επανεπεξεργαστούν και η ακατέργαστη σκόνη που ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις επιτυγχάνεται μέσω παρτίδας, μηχανικής άλεσης με σφαίρα, ξήρανσης με ψεκασμό και άλλων διεργασιών.

Χύτευση σε σκόνη

Η ξηρή πίεση, η ισοστατική πίεση, η χύτευση ταινιών, η χύτευση με έγχυση, η χύτευση με έγχυση πηκτής και άλλες μέθοδοι χρησιμοποιούνται συνήθως για να κάνουν τη σκόνη σε κεραμικό πράσινο σώμα.

Υψηλής θερμοκρασίας

Το κεραμικό πράσινο σώμα μετατρέπεται σε ένα πυκνό μαγειρεμένο σώμα μέσω της κανονικής πυροσυσσωμάτωσης πίεσης, της πυροσυσσωμάτωσης κενού, της πυροσυσσωμάτωσης της ατμόσφαιρας και άλλων μεθόδων.

Κατεργασία ακριβείας

Το πυροσυσσωματωμένο κεραμικό μαγειρεμένο σώμα υποβάλλεται σε επεξεργασία με τόρνους CNC, λείανσης κ.λπ. για να επιτευχθεί το απαιτούμενο μέγεθος και ακρίβεια.

Επιθεώρηση ποιότητας

Η εμφάνιση, το μέγεθος, το πορώδες, η τραχύτητα και άλλες ιδιότητες των κεραμικών εξαρτημάτων ελέγχονται για να εξασφαλιστεί η ποιότητα του προϊόντος.

Επιφανειακή επεξεργασία

Η επιφάνεια των προϊόντων που περνούν την επιθεώρηση ποιότητας καθαρίζεται και απαιτείται περαιτέρω επιφανειακή επεξεργασία για ειδικές ανάγκες, όπως ψεκασμός τόξου, ψεκασμός πλάσματος κ.λπ.

Το Semicorex προσφέρει υψηλής ποιότηταςκεραμικά μέρησε ημιαγωγό. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε επιπλέον λεπτομέρειες, μην διστάσετε να έρθετε σε επαφή μαζί μας.

Επικοινωνήστε με το τηλέφωνο # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com