Πόσο προηγμένα υλικά επιλύουν 3 κρίσιμες προκλήσεις στον σχεδιασμό του φούρνου ημιαγωγών

Ο αγώνας για να συρρικνωθεί τα μεγέθη των τρανζίστορ και η απόδοση της κλίμακας των ηλιακών κυττάρων ωθούν τα όρια της θερμικής επεξεργασίας στα όριά του. Στο Semicorex, έχουμε περάσει δύο δεκαετίες που συνεργάζονται με κορυφαίους κατασκευαστές ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών για να αντιμετωπίσουν ένα επαναλαμβανόμενο σημείο πόνου: όταν τα τυποποιημένα υλικά αποτυγχάνουν υπό ακραίες συνθήκες, μπορούν να συμβιβαστούν ολόκληρες παρτίδες παραγωγής.

Επικαλύψεις CVD: Η πανοπλία για τα εξαρτήματα της διαδικασίας

Οι επικαλύψεις χημικών ατμών (CVD) όπως το καρβίδιο του πυριτίου (SIC) και το καρβίδιο του τανταλίου (TAC) επανάσταση στη μακροζωία των συστατικών σε σκληρά περιβάλλοντα:

ΕπικάλυψηΦόντα:

Αντέχει θερμοκρασίες έως 1.650 ° C σε αδρανές ατμόσφαιρες

Μειώνει τη μόλυνση των σωματιδίων σε επιταξιακούς αντιδραστήρες ανάπτυξης

Επεκτείνει τη διάρκεια ζωής των γραφίτη με 3-5x

Επίστρωση TACσε εμπόδια διάχυσης:

Αποτρέπει τη διείσδυση του τετηγμένου πυριτίου σε χωνευτήρια (99,999% διατήρηση καθαρότητας)

Ελαχιστοποιεί το Wafer Warpage κατά τη διάρκεια της ταχείας θερμικής επεξεργασίας (RTP)

Όταν οι θερμοκρασίες υπερβαίνουν τους 1600 ° C: Το πλεονέκτημα επικάλυψης CVD

Αυτό δεν είναι μαγικό - είναι η επιστήμη των υλικών. Η ιδιόκτητη διαδικασία CVD καταθέτει τόσο επικαλύψεις SIC όσο και TAC με ακρίβεια ατομικού επιπέδου, δημιουργώντας επιφάνειες που:

Αντιστέκεται στη διάβρωση ατμών πυριτίου 3x μεγαλύτερη από τις τυπικές επικαλύψεις

Διατηρήστε μεταβολή πάχους <0,5μm σε σύνθετες γεωμετρίες

Εξαλείψτε την αποκόλληση επικάλυψης ακόμη και υπό θερμική ποδηλασία

Η σιωπηλή κρίση στη θερμική ομοιομορφία

Στους κλιβάνους ανάπτυξης κρυστάλλων, η ασυνεπής κατανομή της θερμοκρασίας μπορεί να μετατρέψει ένα πλινθημάτων πυριτίου ύψους 250.000 δολαρίων σε θραύσματα. Μέσω υλικών καινοτομιών όπως:

Πυκνμένο γραφίτη με πυκνότητα (0.18-0.25g/cm³ Σχεδιασμός κλίσης)

Carbon-Carbon Composite Insulators με ανισοτροπία θερμικής διαστολής <2%

... Βοηθήσαμε τους πελάτες να επιτύχουν:

✔️ ± 1,5 ° C Αξονική ομοιομορφία θερμοκρασίας σε συστήματα Czochralski 300mm Czochralski

✔️ 40% ταχύτερα ποσοστά ψύξης χωρίς ρωγμές

Γιατί η καθαρότητα χαλαζία έχει σημασία περισσότερο από ποτέ

Όταν ένα χυτήριο Tier-1 MEMS έβγαλε ελαττώματα σωματιδίων στις επενδύσεις του θαλάμου χάραξης, το διάλυμα χαλαζία χωρίς φυσαλίδες:

Μειωμένη μόλυνση μετάλλων κατά 89% (ανάλυση ICP-MS)

Εκτεταμένα διαστήματα προληπτικής συντήρησης από 3 έως 8 μήνες

Επιτεύχθηκε 99,999% αρχική καθαρότητα με <0,1ppb περιεκτικότητα σε αλκαλικά μέταλλα

Πέρα από τις προδιαγραφές: θέματα μηχανικής εφαρμογής

Ενώ οι τεχνικές προδιαγραφές παρέχουν βασικές συγκρίσεις, η απόδοση του πραγματικού κόσμου εξαρτάται από:

• Σύζευξη υλικού -επεξεργασίας - Πώς αλληλεπιδρούν τα συστατικά με συγκεκριμένες χημικές ουσίες (π.χ. CL₂ εναντίον SF₆ Plasmas)

• Βιβλιοθήκες λειτουργίας αποτυχίας - Η βάση δεδομένων μας των 1.200+ περιπτώσεων αποτυχίας εξαρτημάτων ενημερώνει την επιλογή υλικού

• Προσαρμοσμένη ταξινόμηση - Ρύθμιση του πορώδους/αγωγιμότητας γραφίτη σε διατομές μέρους

Το Semicorex προσφέρει υψηλής ποιότηταςΕπικαλυμμένο με καρβίδιο με το ταντάλιοκαιΕπικαλυμμένο με καρβίδιο του πυριτίουπροσαρμοσμένα μέρη. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε επιπλέον λεπτομέρειες, μην διστάσετε να έρθετε σε επαφή μαζί μας.

Επικοινωνήστε με το τηλέφωνο # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com