Πλανητικούς υποδοχείς επικαλυμμένους με SiC

Οι πλανητικές υποδοχές με επίστρωση Semicorex SiC είναι απαραίτητο υποστηρικτικό εξάρτημα σχεδιασμένο για επιταξιακή ανάπτυξη ημιαγωγών στον εξοπλισμό Aixtron G2, στον οποίο είναι σε θέση να υποστηρίζουν με ασφάλεια πλακίδια και να περιστρέφονται με τρόπο πλανητικής κίνησης. Με αυτόν τον τρόπο, η ακριβής θερμική ομοιομορφία και η ομοιόμορφη κατανομή αερίων σε όλη την επιφάνεια του πλακιδίου μπορεί να επιτευχθεί με επιτυχία, γεγονός που έχει ως αποτέλεσμα την εναπόθεση επιταξιακής στρώσης κορυφαίας ποιότητας σε γκοφρέτες.

Πλεονεκτήματα των πλανητικών υποδοχέων επικαλυμμένων με SiC Semicorex

1. Σχέδιο τσέπης με πολλαπλές γκοφρέτες

Semicorex επικαλυμμένο με SiCπλανητικούς υποδοχείςδιαθέτουν ομοιόμορφη κατανομή πολλών τσέπες γκοφρέτας με επακριβώς ελεγχόμενες διαστάσεις. Αυτές οι τσέπες γκοφρέτας είναι σε θέση να συγκρατούν σταθερά τα υποστρώματα της γκοφρέτας κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επιταξιακής ανάπτυξης, γεγονός που μπορεί να ελαχιστοποιήσει αποτελεσματικά τις διακυμάνσεις της επιταξιακής διεργασίας που προκαλούνται από την ανεπιθύμητη κίνηση των υποστρωμάτων της γκοφρέτας. Επιπλέον, αυτός ο σχεδιασμός τσέπης πολλαπλών γκοφρετών επιτρέπει σε πολλαπλά υποστρώματα πλακέτας να υποστούν επιταξιακή εναπόθεση ταυτόχρονα σε μία μόνο διαδικασία, βελτιώνοντας σημαντικά τη συνολική απόδοση της διαδικασίας επιταξιακής ανάπτυξης.

2. Βελτιστοποιημένη διάταξη οπών ροής αερίου

Το Semicorex ενσωματώνει ένα προσεκτικά σχεδιασμένο σύνολο καναλιών ροής αερίου σε αυτόSiC-caotedπλανητικούς υποδοχείς, οι οποίοι βελτιώνουν τη δυναμική ροής αερίων και τη θερμική ομοιομορφία σε όλη την επιφάνεια του πλακιδίου καθ' όλη τη διάρκεια της επιταξιακής διαδικασίας. Αυτός ο προσεγμένος σχεδιασμός επιτρέπει τον ακριβή έλεγχο του ρυθμού ροής και κατανομής αερίου εντός του θαλάμου αντίδρασης, κάτι που είναι απαραίτητο για την επίτευξη λεπτών μεμβρανών υψηλής ποιότητας, ομοιόμορφου πάχους στρώματος και αξιόπιστης συνολικής απόδοσης της συσκευής.

3. Εξαιρετικά υψηλή καθαριότητα

Οι πλανητικές υποδοχές με επίστρωση Semicorex SiC κατασκευάζονται με υλικά εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας και εξαιρετικά χαμηλά επίπεδα ακαθαρσιών, ικανοποιώντας πλήρως τις αυστηρές απαιτήσεις καθαριότητας της κατασκευής ημιαγωγών. Ελαχιστοποιούν αποτελεσματικά τη μόλυνση της γκοφρέτας που προκαλείται από την εξάτμιση μεταλλικών αερίων, ακόμη και κάτω από τις συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας και διάβρωσης που είναι χαρακτηριστικές των επιταξιακών διεργασιών.

4. Μεγάλη διάρκεια ζωής

Ο ποιοτικός έλεγχος της Semicorex ξεκινά με την αυστηρή μας επιλογή πρώτων υλών. Οι πλανητικές υποδοχές με επίστρωση SiC κατασκευάζονται με ακρίβεια από γραφίτη ημιαγωγού και καρβίδιο του πυριτίου, προσφέροντας εξαιρετική αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες και αντοχή στη διάβρωση, κάνοντάς τους να αντέχουν τέλεια στις δύσκολες επιταξιακές συνθήκες λειτουργίας υψηλής θερμοκρασίας και εξαιρετικά διαβρωτικές. Με αυτές τις εξαιρετικές ιδιότητες υλικού, οι πλανητικές υποδοχές επικαλυμμένες με SiC Semicorex μπορούν να διατηρήσουν τη σταθερή απόδοση και τη δομική τους ακεραιότητα και να αποφύγουν την επιφανειακή τους ζημιά και την πτώση της απόδοσής τους σε θαλάμους αντίδρασης υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής διάβρωσης, γεγονός που επεκτείνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής των πλανητικών υποδοχέων με επικάλυψη SiC.