Σε τι χρησιμοποιείται ο χαλαζίας στους ημιαγωγούς;

Στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών, τα βήματα από την ανάπτυξη κρυστάλλων πυριτίου έως τη διάχυση οξείδωσης, από τη χάραξη στον καθαρισμό, τα δομικά στοιχεία χαλαζία εμπλέκονται στην όλη διαδικασία. Με την ανάπτυξη προηγμένων διεργασιών, η ανοχή για μόλυνση από ακαθαρσίες και σωματίδια μετάλλων γίνεται όλο και χαμηλότερη σε κάθε βήμα.

Οχαλαζία σύνθεσηςέχει στοιχεία όπως υψηλή καθαρότητα, χωρίς φυσαλίδες, χωρίς σωματίδια, υψηλή διαπερατότητα υπεριώδους ακτινοβολίας, κ.λπ. Το κάνει να αντικαθιστά σταδιακά τα παραδοσιακά φυσικά υλικά χαλαζία σε προηγμένες διαδικασίες παραγωγής, που μπορούν να βελτιώσουν σημαντικά την απόδοση και να παρατείνουν τη διάρκεια ζωής.

01 Δαχτυλίδι χάραξης

Κάτω από τον βομβαρδισμό του πλάσματος (που περιέχει εξαιρετικά δραστικό φθόριο και αέρια με βάση το χλώριο), τα υλικά απαιτούν εξαιρετικά υψηλή χημική αδράνεια και αντοχή στη διάβρωση. Ταυτόχρονα, τα υλικά χαλαζία πρέπει να διαθέτουν εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα για να αποτρέψουν τη μόλυνση από σωματίδια από τη χάραξη. Οι δακτύλιοι χάραξης είναι αναλώσιμα εξαρτήματα. επί του παρόντος, ο περισσότερος εξοπλισμός χρησιμοποιεί φυσικό χαλαζία. Ωστόσο, ορισμένες προηγμένες διεργασίες (2nm, 5nm και άλλες διεργασίες κάτω των 28nm) τις έχουν αντικαταστήσει με συνθετικούς δακτυλίους χάραξης χαλαζία λόγω του αυστηρού ελέγχου των σωματιδίων και των μεταλλικών ιόντων.

02 Quartz Dome

Ένα διαφανές παράθυρο παρατήρησης σε σχήμα θόλου εγκατεστημένο στην κορυφή του θαλάμου αντίδρασης σε εξοπλισμό χάραξης και εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης (όπως CVD). Δεν χρειάζεται μόνο εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα για να αποτρέψει τη μόλυνση του θαλάμου διεργασίας από ακαθαρσίες, αλλά απαιτεί επίσης ορισμένες οπτικές ιδιότητες για να επιτρέπεται η διέλευση φωτεινών σημάτων από το σύστημα ανίχνευσης για παρακολούθηση της διαδικασίας σε πραγματικό χρόνο. Ο συνθετικός χαλαζίας, με την εξαιρετικά υψηλή διαπερατότητα και την υψηλή του καθαρότητα, χρησιμοποιείται ευρέως στο DOME (Diffusion Oxidation).

03 Σωλήνας Φούρνου

Σε κλιβάνους οξείδωσης/διάχυσης υψηλής θερμοκρασίας, χρησιμεύει ως το σωληνοειδές δοχείο πυρήνα που συγκρατεί τη γκοφρέτα και εκτελεί την αντίδραση της διεργασίας. Απαιτείται εξαιρετικά υψηλή αντοχή στη θερμότητα, επιτρέποντας τη μακροχρόνια λειτουργία σε θερμοκρασίες άνω των 1200°C χωρίς μαλάκωμα ή παραμόρφωση. Ο φυσικός χαλαζίας, λόγω της υψηλής περιεκτικότητάς του σε Al και της χαμηλής περιεκτικότητας σε υδροξύλιο, επιτυγχάνει υψηλή αντοχή στη θερμότητα και χρησιμοποιείται ευρέως σε σωλήνες κλιβάνων. Ωστόσο, καθώς οι προηγμένες διαδικασίες επιβάλλουν ολοένα και πιο αυστηρούς ελέγχους στα ιόντα μεταλλικών ακαθαρσιών στον θάλαμο, τα εξαιρετικά ανθεκτικά στη θερμότητα συνθετικά υλικά χαλαζία αντικαθιστούν σταδιακά τους φυσικούς σωλήνες κλιβάνων χαλαζία.

04 Δεξαμενή καθαρισμού

Χρησιμοποιείται για τη συγκράτηση διαλυμάτων καθαρισμού υψηλής καθαρότητας (όπως SC1, SC2, υδροφθορικό οξύ, θειικό οξύ κ.λπ.) για υγρό καθαρισμό γκοφρετών. Τα υλικά χαλαζία έχουν εξαιρετική αντοχή στην όξινη και αλκαλική διάβρωση: μπορούν να αντισταθούν στη διάβρωση σχεδόν όλων των ισχυρών οξέων (εκτός του υδροφθορικού οξέος και του θερμού φωσφορικού οξέος), διασφαλίζοντας ότι η δεξαμενή παραμένει χωρίς διάβρωση για μακροχρόνια χρήση. Ωστόσο, με παρατεταμένη χρήση, τα μεταλλικά ιόντα στη δεξαμενή χαλαζία απελευθερώνονται σταδιακά, προκαλώντας εύκολα μόλυνση. Ο συνθετικός χαλαζίας ποιότητας PPB μειώνει αποτελεσματικά τη μόλυνση από μεταλλικά ιόντα και η φύση του χωρίς φυσαλίδες τον καθιστά πιο κατάλληλο για την επεξεργασία λείων, πυκνών επιφανειών, μειώνοντας την πρόσφυση των ρύπων.

05. Παράθυρο ωρίμανσης με υπεριώδη ακτινοβολία

Εγκατεστημένο σε εξοπλισμό σκλήρυνσης με υπεριώδη ακτινοβολία, χρησιμεύει ως παράθυρο για τη μετάδοση του φωτός UV. Μεταξύ όλων των οπτικών υλικών, ο συνθετικός χαλαζίας έχει την υψηλότερη διαπερατότητα στις ζώνες βαθιάς υπεριώδους (DUV) έως υπεριώδους (UV) (μέχρι τα 185 nm). Η υψηλή αντοχή και η αντοχή του στην ακτινοβολία διασφαλίζουν επίσης ότι η απόδοσή του δεν υποβαθμίζεται ή αποχρωματίζεται υπό παρατεταμένη ακτινοβολία UV.

06. Advanced Packaging Carrier

Σε προηγμένες διαδικασίες συσκευασίας (όπως Fan-Out, 2.5D/3D IC), οι γκοφρέτες μεταφοράς από συνθετικό χαλαζία μπορούν να χρησιμοποιηθούν ως πλάκες μεταφοράς για προσωρινή στήριξη, στερέωση, μεταφορά και επεξεργασία πολύ λεπτών γκοφρετών ή ανακατασκευή γκοφρετών. Το συνθετικό υλικό χαλαζία μπορεί να υποστεί επεξεργασία για να επιτευχθεί εξαιρετική επιπεδότητα και ακαμψία, παρέχοντας σταθερή υποστήριξη για εξαιρετικά λεπτά τσιπ και διασφαλίζοντας την ακρίβεια της διαδικασίας.

Η Semicorex παρέχει υψηλής ποιότηταςεξατομικευμένα εξαρτήματα χαλαζίαγια διαφορετική επεξεργασία. Για προσαρμοσμένες λύσεις ή πρόσθετες τεχνικές πληροφορίες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε με την ομάδα μηχανικών μας.

Τηλέφωνο: +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com